鈦泵的性能

(1)ji限壓力:10-8帕。

(2)抽速:

鈦泵的泵送速度與陽(yáng)*電壓和磁場(chǎng)強(qiáng)度有關(guān)。當(dāng)磁場(chǎng)強(qiáng)時(shí)，泵送速度也很大，與其它泵送速度相對(duì)應(yīng)的陽(yáng)*電壓也很高。鈦泵鈦泵的泵送速度為25升/秒.5升/秒。對(duì)于需要大泵送速度的場(chǎng)合，基本結(jié)構(gòu)單元可并聯(lián)使泵送速度達(dá)到50升/秒.100升/秒。

(3)啟動(dòng)壓力:10-2帕

(4)壽命:

A.陰*耗盡壽命。

陰*鈦板不能用于泵送陰*鈦板。

b.陽(yáng)*剝落壽命。

鈦膜在陽(yáng)*沉積過(guò)大時(shí)會(huì)剝落，導(dǎo)致泵內(nèi)壓力不規(guī)則，變化強(qiáng)烈，使泵無(wú)法使用。

c.陽(yáng)*吸飽壽命。

當(dāng)達(dá)到飽和時(shí)，泵不能再吸附氣體。

在正常情況下，濺射離子泵的使用壽命可達(dá)數(shù)萬(wàn)小時(shí)。

除氣機(jī)理

(1)去除活性氣體。

排除N2.O2.CO、CO2等氣體主要依靠積聚在陽(yáng)*筒內(nèi)壁的鈦膜的化學(xué)吸附。

(2)去除氫氣

除氫具有化學(xué)吸附、擴(kuò)散、吸收、溶解等功能。

(3)去除惰性氣體

排除惰性氣體主要依靠離子埋葬。當(dāng)電離惰性氣體離子轟擊陰*時(shí)，有三種情況：

A.離子直接進(jìn)入陰*，或進(jìn)入陽(yáng)*板對(duì)面陰*邊緣的鈦積層；

b.斜射離子切入陰*表面，離子和鈦被拆除并沉積在陰*板周圍或其他地方；

c.離子從陰*中獲得電子，復(fù)合成中性原子，然后反射到陽(yáng)*內(nèi)表面的鈦膜中，而不是進(jìn)入板內(nèi)。

鈦泵電源

鈦泵的電源為高內(nèi)阻電源，空載輸出電壓在3~7KV之間，但當(dāng)負(fù)載電流較大時(shí)，輸出電壓降至400V左右。濺射離子泵一般采用5KV倍壓整流電源。鈦泵陰陽(yáng)*的放電電流可以反映泵空間的真空度。額定電壓和磁場(chǎng)強(qiáng)度下濺射離子泵的放電電流Iion(ma)與壓力P(Torr）有一定的曲線關(guān)系。因此，離子泵電源可以反映壓力。

泵電源面板顯示：輸出直流高壓和鈦泵放電電流。