傳統(tǒng)的鈦泵電源只用于去除密封裝置中的殘留空氣，不需要穩(wěn)壓輸出。因此，輸出電壓隨著電網(wǎng)的波動(dòng)和負(fù)載電流的大小而波動(dòng)。鈦泵電源作為一種特殊的泄漏檢測(cè)，要求穩(wěn)壓輸出，才能判斷輸出電流增量是微泄漏的電流增量，從而找到泄漏位置。由于鈦泵電源的特點(diǎn)是輸出高電壓、小電流（甚至無電流）。因此，我們選擇了開關(guān)電源的技術(shù)方案，一般開關(guān)電源不允許空載（即在微電流下不能工作），但鈦泵泄漏檢測(cè)儀的工作是一般開關(guān)電源的禁區(qū)。為了解決這個(gè)問題，我們采取了一些措施，使開關(guān)電源在完全空載的情況下不會(huì)損壞。電流采樣的技術(shù)方案是將電流增量轉(zhuǎn)化為電壓增量，簡(jiǎn)化整體電路設(shè)計(jì)。計(jì)算放大器和輸出信號(hào)的零位調(diào)整是鈦泵泄漏檢測(cè)儀能否達(dá)到效果的關(guān)鍵問題，尤其是輸出信號(hào)的零位調(diào)整。在電流采樣中，已經(jīng)提到將電流信號(hào)轉(zhuǎn)換為電壓信號(hào)。

因此，電壓放大器可以用于計(jì)算放大器。目前，有許多高穩(wěn)定性和低漂移的計(jì)算放大器，這并不難解決。關(guān)鍵是零，至關(guān)重要。原因有兩個(gè)。首先，在不同的測(cè)量范圍內(nèi)，計(jì)算放大器的放大倍數(shù)是不同的。無論放大多好，輸出信號(hào)在不同的閉環(huán)放大倍數(shù)下總會(huì)有所不同；二是負(fù)載（指鈦泵）本身，由于導(dǎo)線絕緣性能差，會(huì)造成一定數(shù)量的漏電流。這種漏電流往往大于實(shí)際顯示真空裝置中的壓力電流。因此，在鈦泵泄漏檢測(cè)儀的電路設(shè)計(jì)中，要考慮減少這部分無用的漏電流，以達(dá)到高靈敏度顯示的目的。因此，我們通過調(diào)整零來解決漏電流的影響。負(fù)載（鈦泵）電流指示由于計(jì)算放大器的輸出信號(hào)是電壓，因此我們將輸出的電壓轉(zhuǎn)換為電流顯示。

以下簡(jiǎn)要介紹了鈦泵泄漏檢測(cè)的工作原理。基于鈦泵對(duì)泄漏氣體泵送速度的選擇性。當(dāng)真空密封裝置有輕微泄漏時(shí)，鈦泵的泵送量等于泄漏量，形成一定的平衡壓力。平衡壓力類型如下：Pt=P1+1/V[FQL+（Qidt）]（1）在真空密封裝置中，假設(shè)QL≤（Pt-P1）V/t（2）離開裝置的時(shí)間；P1離開前排氣系統(tǒng)的*限壓力；QL一個(gè)裝置的實(shí)際泄漏；Qi一個(gè)裝置的泄漏；V一個(gè)裝置的體積。

鈦泵主要依靠化學(xué)吸附排除活性氣體O2.H2.CO2等氣體，降低密封裝置內(nèi)的壓力，降低鈦泵的放電電流，消除惰性氣體He.Ar等氣體主要依靠物理吸附，使鈦泵的放電電流較大?？梢钥闯觯?dāng)鈦泵的放電電流與平衡壓力成正比時(shí)，通過漏孔進(jìn)入鈦泵時(shí)，泵電流會(huì)發(fā)生變化。根據(jù)這一變化，可以檢測(cè)到真空密封裝置的漏孔。